11月5日,工业和信息化部发布第三批重点培育中试平台初步名单公示,经自愿申报、地方推荐、形式审查、专家评审、征求意见等程序,学校承担建设的高端MEMS芯片中试平台成功入选。



此外,我校宁波研究院承担建设的水下智能机器人中试平台也入选第三批重点培育中试平台初步名单。

2025年5月,学校一级企业西安爱生技术集团有限公司承担的无人机系统试验测试中试平台入选首批重点培育中试平台名单。至此,我校共3个平台进入工信部重点培育中试平台序列。


下一步,学校将统筹推进概念验证、中试验证平台建设,不断健全科技成果转化服务链条,助力更多科技成果加速转化为新质生产力,促进科技创新和产业创新深度融合,支撑区域经济高质量发展。
高端MEMS芯片中试平台
高端MEMS芯片中试平台依托学校工信部极端环境MEMS器件学科与技术中心、空天微纳系统教育部重点实验室建设。平台拥有自主知识产权的国产化MEMS集成设计工具和国内一流MEMS制造平台,建有完整6英寸/8英寸MEMS产线,在深硅刻蚀、晶圆键合和MEMS工艺整合方面形成核心技术优势,可提供从芯片设计、工艺开发、工艺验证到批量生产的一站式服务。
(撰稿:高鑫 审核:王洲航)